ООО Укрпостач

Промышленная и химическая продукция

Быстрая комплектация и доставка по всей Украине

Оператор Киевстар +38 (067) 301-06-86   Оператор МТС +38 (050) 607-30-66,   Оператор Life +38 (093) 959 00 99
Городской (057) 755-89-65,   752-34-29,   755-89-26

ООО Укрпостач
г. Харьков, ул. Фейербаха 8
тел: Оператор Киевстар +38 (067) 301-06-86
тел: Оператор МТС +38 (050) 607-30-66
тел: Оператор Life +38 (093) 959 00 99
тел/факс: Городской (057)755-89-65, 752-34-29, 755-89-26
Email: info@ukrpostach.net

Фоторезист ФП-383 ТУ 2378-005-29135749-2007

Фоторезист ФП-383 предназначен для реализации фотолитографических процессов в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем, металлизированных шаблонов, шкал, сеток, печатных плат.

Технические характеристики Фоторезист ФП-383

Характеристика Норма
1 Внешний вид фоторезиста Жидкость красно-корич цвета без осадка
2 Внешний вид пленки фоторезиста блестящая без разрывов
3 Относительная скорость фильтрации, отн. ед., не более 2,0
4 Кинематическая вязкость при (20+0,5) °C мм2/сек 6,0 - 6,5
5 Разрешающая способность, мкм, не более 1,0
6 Толщина пленки фоторезиста, мкм 1,0 - 1,2
7 Число оборотов при нанесении, об/мин 3000,0
8 Устойчивость пленки фоторезиста к проявителю, мин., не менее 15,0
9 Рекомендуемый проявитель УПФ-1Б

ПОЗИТИВНЫЙ ФОТОРЕЗИСТ ФП-383

Один из лучших позитивных фоторезистов ФП-383 для процессов жидкостного травления в микроэлектронике. Превосходит по устойчивости в жидкостных травителях все существующие на рынке отечественные и импортные фоторезисты. Обладает высокой адгезией ко всем полупроводниковым и металлическим поверхностям. Не требует обработки поверхности промотором адгезии.

Фоторезист ФП-383 может использоваться как для контактной, так и для проекционной фотолитографии.Имеет превосходный контраст и светочувствительность.

Рекомендации по применению ФП-383

Подготовка поверхности:
Для удаления воды с поверхности подложку следует непосредственно перед нанесением фоторезиста прогреть при 200°С в течение 30 минут и охладить до комнатной температуры.
Условия применения:
Нанесение:
Распределить 1-2 мл фоторезиста на поверхности и дать растечься в течение 2 сек максимум. Привести во вращение центрифугу. Центрифуга должна обеспечивать достижение скорости вращения 3000 об/мин максимум за 0,3 сек. Время центрифугирования составляет 25-30 сек.
Толщина пленки фоторезиста в зависимости от скорости вращения:
Фоторезист ФП-383 - зависимость толщины от частоты вращения
Предварительная сушка:

Рекомендуются сушка в термошкафу конвекционного типа с принудительной вентиляцией при температуре 95°С, с контролем температуры в пределах +1°С. Время выдержки: 30 мин.

На промышленных линиях фотолитографии следует подобрать скорость и температуру конвейера так, чтобы обеспечить условия, эквивалентные конвекционному термошкафу.

Нанесение:
Распределить 1-2 мл фоторезиста на поверхности и дать растечься в течение 2 сек максимум. Привести во вращение центрифугу. Центрифуга должна обеспечивать достижение скорости вращения 3000 об/мин максимум за 0,3 сек. Время центрифугирования составляет 25-30 сек.
Экспонирование:
Экспонирование ультрафиолетовой лампой в диапазоне 350-450 нм.
Проявление:
Рекомендуется проявитель УПФ-1Б для максимального контроля над процессом.
Термообработка после проявления:

Термообработка необходима для увеличения стойкости пленки фоторезиста в процессах жидкостного и сухого травления.

Рекомендуются термозадубливание в термошкафу конвекционного типа с принудительной вентиляцией при температуре 120 - 125°С. Время выдержки: 30 мин. Для более сильных травителей возможно повышение температуры задубливания до 145°С.

Удаление:
Для удаления пленки фоторезиста ФП-383 рекомендуется экологически безопасный сниматель СПР-01Ф или кислородная плазма.
Хранение:
Хранить в сухом помещении при температурах 10-21°С в закрытых коричневых стеклянных бутылках. Гарантийный срок хранения - 6 месяцев от даты розлива.
10.00
Продам
Фоторезист ФП-383
Способы оплаты:
  • Наличный
  • Безналичный расчет
Способы доставки:
  • Самовывоз
  • Доставка нашим транспортом из Харькова
  • Новая почта
Контакты:
  • Компания: ООО Укрпостач
  • Контактное лицо: Андрей Анатольевич
  • Телефон:(057) 755-89-65
  • Факс:(057) 752-34-29
  • Email:info@ukrpostach.net
  • ул.Фейербаха, дом 8, 61066, Харьков, Украина
Как нас найти
ООО Укрпостач находится в центре города
ул.Фейербаха, дом 8, 61066, Харьков, Украина Телефоны:(057) 755-89-65, (057) 752-34-29
Координаты:(36.2448870970394, 49.99077765909179)
Реклама